MarSurf UD 130：二合一高精度粗糙度与轮廓测量仪

MarSurf UD 130 是一款集粗糙度测量与轮廓测量功能于一体的高精度仪器，定位于高端解决方案与标准测量站之间。其技术参数显著提升，定位速度最高可达 30 mm/s，测量速度最高为 5 mm/s，有效缩短单件测量时间。

该设备支持多种测针与测臂：2 μm 和 5 μm 金刚石针尖用于粗糙度测量，25 μm 硬质合金及红宝石针尖用于轮廓测量。测臂采用仿生学设计与新型材料，具备高硬度和低振动特性。测臂内置识别芯片，配合磁性夹持装置，可实现快速、可靠的更换。

测量力可在 1 mN 至 30 mN 范围内通过软件调节，X 方向取样间距为 0.25 μm 至 10 μm，每次测量最多可采集 52 万个点，分辨率达到 2 nm。轮廓测量误差为 ±(1.0 + 2*L/150) μm（L 以 mm 计）。设备可在 +15 °C 至 +35 °C 环境下工作，推荐在 20 °C ± 2 K 恒温条件下使用以满足技术指标。